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Lab Series








01. 상품이미지

    • 모델 제품명 제품사양 판매단위
      TLP1101 스핀코터 전체사이즈 : 360(W)x 260(D)x360(H)mm, 14L 1ea/pk
      OPTION 진공 펌프 세트 진공펌프 + 진공호스 1ea/pk
      Touch PC Touch PC + USB Cable 1ea/pk
    •  

02. 상품정보

사양 단위 비고
무게 20 kg  
전력 1.5 kw 220V / 6A
최고 회전속도 6900 rpm  
최저 회전속도 1000 rpm  
최대 웨이퍼 크기 180 mm  
볼 재료 PE    
유지 가능 시간 1~10,000 sec  
회전속도 정밀도 1 rpm  
프로그램 Lab VIEW    
증가 가속도 4,000 rpm/sec  
감소 가속도 4,000 rpm/sec  

* 저렴한 원가,간단한 설계, 저소음, 저 진동
* 정밀도(허용오차) 土1rpm 으로 매우 뛰어난 회전 정밀도
* 회전수 표시,신뢰성이 높은 실 회전수 표시
* LCD상 그래픽으로 스핀 구동을 실시간 볼 수가 있어 코팅 데이터를 쉽고 빠르게 구현하여 연구, 개발 시간 단축
* 프로그램은 최대 100스텝, 100프로그램 입력 가능
* 회전 속도 가속, 감속 (acceleration & deceleration) 자유롭게 구성 (최대 초당 3,000 R.P.M 가속, 가감)
* 급 정지 가능 (여러가지 시료 및 포토레지스트, 화학약품에 대응)
* 위치 제어 기능으로 정지시 원하는 위치에 정지 (시료 Handling에도 최적)
* 저속, 고속  R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현

03. 자료실

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