Research Instrumentation / TERA LEADER
선도형 연구장비 개발 제품
연구 현장의 요구를 반영해 개발·제작한 연구장비를 소개합니다. 반도체·나노소재·표면 공정부터 CVD·열처리, 정밀 계측·평가와 자동화까지 다양한 연구 분야를 지원합니다.
Research Fields
분야별 개발 제품
여러 연구 분야에 연결된 장비는 각 분야에서 함께 확인할 수 있습니다.
연구 분야별 장비 목록
장비 35개 · 연구 분야 7개
에너지 소재 합성·분석
13개 장비박막·표면 공정
분말 ALD
현재 개발 중- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
Remote PEALD
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
웨이퍼 Thermal ALD
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
ALD
원자층 증착 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
박막·표면 공정
Sputter
스퍼터링 증착 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
CVD·열처리
Thermal Reactor
열처리·CVD 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
CVD·열처리
Ampoule Furnace
전고체전지 소재 연구용 앰플 타입 열 반응기
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
CVD·열처리
Mini CVD
CVD·열처리 실험을 위한 소형 튜브 퍼니스
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
- 차세대 배터리·전고체전지
전기적 특성 측정
유전율 측정 장치
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
전기적 특성 측정
고온 EIS 측정 장치
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
소재 합성
CNT 합성 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
소재 합성
Graphene 합성 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
소재 합성
MoS₂ 합성 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
차세대 배터리·전고체전지
14개 장비7개 연구 분류에서 연구 내용과 관련 장비를 확인하세요. 여러 연구 단계에 쓰이는 장비는 각 분류에 함께 표시합니다.
고체전해질 소재
황화물·산화물·할라이드·고분자 및 복합 전해질
장비·구성
소재 합성·열처리·ALD 장치
전극·계면
양극 복합체, 음극, 코팅층과 접촉 상태
장비·구성
셀 지그, 가압·측정 장비, ALD 코팅 장치
셀 구성·성형
펠릿·전극 적층, 셀 조립 조건
장비·구성
셀 지그, 프레스, 관련 부품
압력·변위 평가
가압 조건과 충·방전 중 하중·두께 변화
장비·구성
디지털 프레스, 로드셀 인디케이터
온도별 평가
온도에 따른 이온전도도·셀 성능 변화
장비·구성
오븐, TBS, 지그 연계 구성
전기화학 평가
충·방전, 임피던스, 계면저항과 수명
장비·구성
외부 분석기와 연결하는 지그·측정 구성
셀 확대·공정 개발
소형 연구셀에서 파우치셀로 확대, 공정 재현성
장비·구성
파우치 셀 지그와 검토 가능한 개발 장비
소재·센서 신뢰성 평가
5개 장비센서 특성 측정
Pulse Stress Measurement System
압력 센서 특성 평가를 위한 측정 장치
- 소재·센서 신뢰성 평가
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
센서 특성 측정
Strain Measurement System
변형 센서 특성 평가를 위한 측정 장치
- 소재·센서 신뢰성 평가
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
마찰 특성 평가
페인트 마찰력 측정 장치
도장·도료의 마찰 특성 측정을 위한 구동·계측 통합 장치
- 소재·센서 신뢰성 평가
센서 특성 측정
전자피부용 Tactile Sensor 측정 장치
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
- 소재·센서 신뢰성 평가
전기적 특성 측정
BioLogic Potentiostat
- 소재·센서 신뢰성 평가
전자피부·웨어러블 센서 평가
5개 장비박막·표면 공정
OLED Evaporator
OLED 소재의 진공 증착을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
센서 특성 측정
Pulse Stress Measurement System
압력 센서 특성 평가를 위한 측정 장치
- 소재·센서 신뢰성 평가
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
센서 특성 측정
Strain Measurement System
변형 센서 특성 평가를 위한 측정 장치
- 소재·센서 신뢰성 평가
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
마찰 특성 평가
화장품 마찰력 측정 장치
화장품의 마찰 특성 측정과 인공지능 응용을 위한 장치
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
센서 특성 측정
전자피부용 Tactile Sensor 측정 장치
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
- 소재·센서 신뢰성 평가
첨단소재·열처리·표면·접합 공정
18개 장비박막·표면 공정
분말 ALD
현재 개발 중- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
Remote PEALD
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
웨이퍼 Thermal ALD
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
ALD
원자층 증착 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
박막·표면 공정
E-beam Evaporator
전자빔 증착 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
OLED Evaporator
OLED 소재의 진공 증착을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
박막·표면 공정
Sputter
스퍼터링 증착 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
박막·표면 공정
Nb계 초전도 소재 성장용 스퍼터
Nb계 초전도 소재 성장을 위한 스퍼터링 장치
- 양자·차세대 센서 연구 기반
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
XeF₂ Etcher
XeF₂ 식각 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
박막·표면 공정
RIE
반응성 이온 식각 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
CVD·열처리
Thermal Reactor
열처리·CVD 공정을 위한 R&D 장비
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
CVD·열처리
Ampoule Furnace
전고체전지 소재 연구용 앰플 타입 열 반응기
- 차세대 배터리·전고체전지
- 에너지 소재 합성·분석
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
CVD·열처리
Mini CVD
CVD·열처리 실험을 위한 소형 튜브 퍼니스
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
- 차세대 배터리·전고체전지
소재 합성
CNT 합성 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
소재 합성
Graphene 합성 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
소재 합성
MoS₂ 합성 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
- 에너지 소재 합성·분석
고온·진공 열처리
2500℃ 이상 진공 열처리 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
브레이징·접합
브레이징 장치
- 첨단소재·열처리·표면·접합 공정
로봇 촉각·자동화 시스템
4개 장비센서 특성 측정
Pulse Stress Measurement System
압력 센서 특성 평가를 위한 측정 장치
- 소재·센서 신뢰성 평가
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
센서 특성 측정
Strain Measurement System
변형 센서 특성 평가를 위한 측정 장치
- 소재·센서 신뢰성 평가
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
자동화
팰릿타이징 장치
적재 작업의 동작과 제어를 통합하는 자동화 장치
- 로봇 촉각·자동화 시스템
센서 특성 측정
전자피부용 Tactile Sensor 측정 장치
- 전자피부·웨어러블 센서 평가
- 로봇 촉각·자동화 시스템
- 소재·센서 신뢰성 평가
양자·차세대 센서 연구 기반
2개 장비통합 개발 기술
공정·계측·제어 기술의 축적
기구·전기·제어, 센서·계측과 소프트웨어를 통합하여 소재 합성, 전고체전지 평가, 촉각 센서 측정과 공정 자동화를 위한 주문형 장비를 개발·제작합니다.