01 / 제품 개요
제품 개요
OLED 소재용 진공 증착 장치
모델·옵션별 적용 범위는 문의 시 확인해 주세요.
02 / 제품 특징
제품 특징
- 01OLED 진공 증착 장치
03 / 주요 사양
주요 사양
| 챔버 | Stainless steel (EP) chamber |
|---|---|
| 챔버 크기 | 1324.5mm X 1124mm X 1742.5mm |
| 진공 펌프 | Turbo Pump (400l/s) & Rotary Vane Pump (400L/m) |
| 진공 게이지 | Cold Cathode & Convection Gauge |
| 기판 | up to 4” O.D. / PCW Cooling Type |
| 증착원 | Effusion cell 2ch, thermal 2ch (4ch) |
| 시스템 제어 | Semi auto control by Touch PC (TLP0105) |
| 안전 기능 | Alarm & Interlock |
사양 값과 단위는 원문 표기를 유지했습니다.
AI 제품 지원
제품 기술자료, AI에게 물어보세요.
NotebookLM에서 제품 사양, 적용 분야와 기술자료에 관해 질문하세요. 가격·납기·주문제작 조건은 담당자에게 문의해 주세요.
NotebookLM에서 기술자료에 질문하기 · Google 로그인 필요 · 새 탭으로 열립니다.
